Process 增强编排层监控预警与自动控制的专业深度:RMS 管 Golden 与机台配方对照(设得对);FDC 管过程参数(CTP);SPC 管产品关键特性(CTQ);R2R 管过程纠偏与智能调参(改得准、人在回路)。检出、分析与调参单据在应用;提醒、软停、写生效、恢复进板以 Orchestrator 为准——不在应用内直接软停 / 黑灯写参。智能化暗线:专业增强。
| FDC | SPC | |
|---|---|---|
| 对象 | 过程参数(CTP) | 产品质量特性(CTQ) |
| 主判 | 硬越限 / 分类 | 硬超规;I-MR · WE4 · Cpk(分析与预警) |
| 处置倾向 | 可提醒,严重场景协同软停 | 一般提醒 / 改进;默认不整机软停 |
参数超限 / CTQ 超规 → Process 检出态势 → Orchestrator 提醒或软停 → 驾驶舱处置 → 应用时间线完整可见。
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